Die Steinmeyer-Gruppe aus Dresden stellt ein ultrakompaktes Polarisationsfilter für die DUV-Lithografie vor, das höchste Präzision, minimale Partikelbildung und verlässliche Funktion im anspruchsvollen Silicon Saxony gewährleistet. Das nachrüstbare Modul misst 120 × 180 × 31 mm, erlaubt drei unabhängige Filterpositionen und liefert eine Verschiebegenauigkeit von 1,5 µm. Trockener Stickstoffbetrieb und ein wartungsfreier Edelstahl-PEEK-Gleitgewindetrieb sichern dauerhaften 24/7-Einsatz ohne Schmierung und mit reduziertem Verschleiß. Sie garantieren langfristige Stabilität sowie konstante Performance über Jahre.
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Steinmeyer-Gruppe und Feinmess Suhl liefern hochpräzise Positionierlösungen für Halbleiterindustrie
Der Gleitgewindetrieb hat einen Spindeldurchmesser von 3 mm (Foto: Steinmeyer Gruppe)
Die Steinmeyer-Gruppe aus Dresden gehört zu den Führer Anbietern hochspezialisierter, kundenspezifischer Positionierlösungen in der Halbleiterindustrie. Als Teil des größten IKT- und Mikroelektronik-Zentrums Europas im Silicon Saxony bringt das Unternehmen über vier Jahrhunderte Erfahrung in Antriebs-, Positionier- und Präzisionsmesstechnik ein. In Zusammenarbeit mit Feinmess Suhl entwickelt Steinmeyer innovative Systeme, die anspruchsvolle Vorgaben bezüglich Partikelfreiheit, Langlebigkeit und mikrometergenaue Genauigkeit konsequent erfüllen. Sie liefern maßgeschneiderte, modulare Lösungen für anspruchsvolle Fertigungsprozesse mit höchster Prozesssicherheit.
Ultrakompakte DUV-Polarisationsfilter-Baugruppe: drei motorisierte Filter auf kleinstem Raum integriert
Auf nur 120 × 180 × 31 mm Grundfläche vereint die Polarisationsfilter-Baugruppe drei flächige Filter auf einer Höhe von 15 mm. Jeder Filter kann unabhängig über einen Verfahrweg von 75 mm positioniert werden. Drei elektronisch kommutierte DC-Motoren treiben jeweils einen Gleitgewindetrieb mit hoher Wiederholgenauigkeit an, um den Strahl präzise anzupassen. Als zusätzliches Modul für bestehende Wafer-Stepper ermöglicht das System eine kompakte Integration, Automatisierungssteigerung und Platzersparnis in der DUV-Belichtungs-Installation. Systemintegration.
Sauerstofffreie Stickstoffatmosphäre erzwingt tribologische Eigenschaften wie im echten Hochvakuum
Die Kombination aus nicht-rostendem Edelstahl (Spindel) (Foto: Feinmess Suhl GmbH)
Eine sauerstofffreie Stickstoffumgebung stellt höchste Anforderungen an tribologische Komponenten. Nur Werkstoffe mit makellos glatten Oberflächen, sehr geringer Ausgasung und niedrigster Partikelfreisetzung sind geeignet. Um diesen Bedingungen gerecht zu werden, entschieden sich Steinmeyer und Feinmess Suhl für nichtrostenden Edelstahl in Kombination mit PEEK-Muttern, die mit schmierstoffähnlichen Füllstoffen versehen sind. Diese Materialpaarung gewährleistet herausragende Gleiteigenschaften, effizienten Wärmetransport sowie dauerhafte Stabilität ganz ohne den Einsatz von Flüssigschmierstoffen unter Reaktionsbedingungen, ohne Kompromisse an Leistung.
Trockenlaufender Gleitgewindetrieb von Feinmess Suhl mit langlebiger 1,5 µm Präzision
Feinmess Suhl entwickelte einen trockenlaufenden Gleitgewindetrieb M3x1P0.5 mit 3 mm Spindeldurchmesser und 112 mm Länge auf Basis von Gewinderollen. Das spanlose Kaltumformungsverfahren liefert ultraglatte Oberflächen mit minimalem Verschleiß und hohem Wirkungsgrad. Dank integrierter Selbsthemmung bleiben eingestellte Positionen stabil, ohne zusätzliche Verriegelungskomponenten. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei 1,5 µm. Der robuste Aufbau und hochwertige Werkstoffe gewährleisten zuverlässige Funktion über eine Betriebsdauer von zehn Jahren.
Vakuumgerechte Konstruktion und ISO Klasse 6 Montage für Partikelfreiheit
Ultrakompakte, hochpräzise Positionierlösung zur Wafer-Belichtung (Foto: Bild: Steinmeyer Gruppe)
Alle Bauteile werden unter Vakuumbedingungen konzipiert, um Kontaminationsrisiken zu minimieren. Die Montage erfolgt in zertifizierten Reinräumen der ISO Klasse 6, anschließend werden die Systeme nach ISO 14644-1 Klasse 1 gereinigt. Eine Gesamtreinraumfläche von über 3.900 Quadratmeter ermöglicht variable Produktionskapazitäten. Für den Versand kommen Stickstoff-Inertgas-Verpackungen zum Einsatz, die eine partikelarme Umgebung sicherstellen. Die enge Zusammenarbeit zwischen Antriebs-, Positionier- und Präzisionsmesstechnik-Zentren gewährleistet kurze Entwicklungszeiten und hochgradig individualisierte Lösungen, maßgeschneiderte Fertigungen sowie.
Steinmeyer-Gruppe bietet hochpräzise Gleitgewindetriebe und Kugelgewindetriebe für Halbleiterfertigung an
Neben Gleitgewindetrieben mit Trockenschmierung bietet die Steinmeyer-Gruppe über August Steinmeyer auch hochpräzise Kugelgewindetriebe mit spezieller Flüssigschmierung an. Für jede Anwendung lassen sich geeignete Linearantriebe auswählen, ob für präzise Handhabung, penible optische Inspektionen oder hochkomfortable EUV-Positionierung. Durch modulare Integration, individuell abgestimmte Komponenten und erfahrene Engineering-Teams stellt das Angebot zuverlässige, langlebige und kosteneffiziente Lösungen für Waferfertigung und Chipproduktion bereit, die höchste Präzision, minimale Reibung und optimale Schmierwirkung gewährleisten. Profitieren von maßgeschneiderten Systemen.
Die ultrakompakte Bauform des DUV-Polarisationsfilters in Kombination mit den trockenlaufenden Edelstahl-PEEK-Gleitgewindetrieben gewährleistet höchste Präzision bei minimaler Partikelemission. Dank umfassender Reinraumfertigung nach ISO-Klassen und modularer Integration lässt sich das System nahtlos in bestehende Wafer-Stepper einsetzen. Der wartungsfreie Dauerbetrieb ermöglicht unterbrechungsfreie Produktionszyklen. Anwender in der Halbleiterindustrie profitieren von stabiler Strahlenmodulation, reduzierten Stillstandszeiten und nachhaltiger Performance. Das Projekt stärkt die Innovationskraft im Silicon Saxony und belegt die herausragende Zuverlässigkeit sowie das branchenweite Know-how.
